表面を覆っていない作業用品
薄膜の厚さが異常または薄膜がない作業用品
Q1 について
発泡 (表面に泡が置かれ,泡の痕跡として覆われない斑点が生じる)
空気が閉じ込められている
A1:
- 泡を消すために,作業部位をゆっくりと浴槽に入れてください.
- 泡が抜け出すように 角を合わせる.
- 溶液の流れ (ノズル) を再確認し,泡が脱出するのを容易にする.
Q2 について
電気連続性の障害 (欠陥による接触によりフィルムがないか非常に薄いフィルムを持つ作業部件が発生)
A2 について
(現在のコレクターとハンガーコンタクトを検査.)
Q3 について
電気連続性障害 (基板表面のアデレントの電気隔熱特性による,覆われない領域の発生)
A3 について
材料表面から隔熱を取り除く.